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    高質量金屬膜及介質膜

      平臺具備PECVD生長高質量氧化硅、氮化硅介質膜,濺射或電子束蒸發生長鈦、鉑、金、鉻、鋁等常用金屬薄膜,以及設計并制作各類多層光學膜的能力??捎糜诔牧仙L、金屬圖形化、光學鍍膜等方面。
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