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    硅光集成芯片

      硅光集成芯片作為新一代光電集成芯片,將多種微納結構集成在一起,使之具備一定的功能。平臺擁有具備小批量生產能力的電子束光刻機,曝光速度快且精度高,可加工波導、微環、分束器、耦合光柵等器件。
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