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    華慧芯科技集團
    清華大學天津電子信息研究院
    華慧芯科技集團是國內高端光電子工藝研發代工的開拓者,是天津市首批瞪羚企業(入庫登記編號DL20191106BH00134),已完成天使輪、A輪融資,主營業務為高端光電子芯片工藝研發、微納結構和材料表征分析,以及高新企業的投融資服務。
    華慧芯科技集團全面負責清華大學天津電子信息技術研究院高端光電子芯片創新中心(簡稱“高端光電子中心”)的運營,目前擁有70余人的高水平技術團隊,1200㎡的研發中心。同時,培養在站博士后1人,碩士生7人。
    高端光電子中心擁有國內最先進的、完備的光電子器件研發設備,支持III-V族化合物、硅基半導體、二維材料、金屬材料等光電子芯片的研發、表征及分析。
    清華高端光電子中心是天津市科技局立項支持的市級中試平臺,目前已為近百家機構提供了高端光電子工藝研發代工的技術服務。
    高端光電子芯片工藝研發
    • III-V激光器全套工藝流片

      三五族半導體激光器芯片廣泛應用于光通信、光學傳感和生物醫療等領域,平臺具備完善的三五族半導體激光器芯片流片設備及流片工藝,包括光刻、刻蝕、薄膜、劃裂、測試及分選等,可以將外延片加工為成品芯片,為客戶提供芯片研發、中試和小批量生產的技術服務。
    • 硅光集成芯片

      硅光集成芯片作為新一代光電集成芯片,將多種微納結構集成在一起,使之具備一定的功能。平臺擁有具備小批量生產能力的電子束光刻機,曝光速度快且精度高,可加工波導、微環、分束器、耦合光柵等器件。
    • 電子束直寫光刻及配套工藝

      電子束光刻機可直寫10nm量級圖形,可應用于微型光柵、光子晶體、光學超表面、納米壓印模板等的制作與加工。平臺的電子束光刻機為日本電子公司的最新型號JEOL-9500FS,具備小批量進行電子束曝光的能力。
    微納結構和材料表征分析
    • 激光器截面切割&表征
    • 二次電子成像
    • STEM-LiMnO八面顆粒
    • LaMnO3/SrTiO3薄膜晶格結構
    相關鏈接
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